離子滲氮法是由德國人B.Berghaus于1932年發(fā)明的。該法在0.1-10Torr的含氮氣氛中，以爐體為陽*，被處理工件為陰*，在陰陽*間加上數(shù)百伏的直流電壓，由于輝光放電現(xiàn)象便會產(chǎn)生象霓虹燈一樣的柔光覆蓋在被處理工件的表面。此時，已離子化了的氣體成份被電場加速，撞擊被處理工件表面使其加熱。同時依靠濺射及離子化作用等進行氮化處理。

　　綜上所述，離子氮化是在真空爐體內，通過稀薄氣體放電，形成由離子、電子和中性粒子所構成的局部電離狀態(tài)(即等離子體)中進行處理的。

　　離子滲氮開始應用于生產(chǎn)實際，至今已經(jīng)有四十余年，離子滲氮已經(jīng)成為離子熱處理技術中成熟、普及、富有生命力的工藝之一。作為一種全新的滲氮方法，現(xiàn)已廣泛應用于汽車、機床、造船、紡織機械、石化機械、儀器、擠壓成型機、齒輪、驅動軸、蝸輪、蝸桿、機床主軸、套筒、凸輪、瓦楞紙軋輥、絲杠、曲軸、閥、減速機的同步環(huán)、液壓缸、導電碼線筒、模具、量刃具等許多領域、其應用范圍隨著工藝的不斷開發(fā)將日益擴大。